MEMSとは、Micro Electro Mechanical System (微小電子機械システム)の略で、半導体プロセス技術を利用した小型のメカニカルデバイスや構造体を指します^*1。一例としては、自動車に搭載される加速度センサや圧力センサが挙げられます。

SIIでは、長年、MEMSの開発に取り組んでおり、MEMSカンチレバーは、自社製品の走査型プローブ顕微鏡(SPM)に採用されています。また、MEMS用CADや構造解析ツールを駆使し、現在は、高機能カンチレバーをはじめとする多種多様なデバイスの開発を行っています。

*1 メカニカルデバイスとICなどの電子デバイスが融合したもののみを指す場合もあります。