真空ポンプ(スクロール式)

特長

  • 特許ベアリングシールドを採用
  • 真空室とベアリング部を完全に遮断(完全オイルフリーを実現)
  • 水蒸気の排出速度が向上(3段階のガスバラスト量設定可能)
  • インバータ駆動でアイドリング、ブーストモード機能搭載(XDS35iのみ。XDS5,10はインバータなし)
  • シングルチップシール採用による容易なメンテナンス(約30分で完了)
  • 各種の安全規格を取得 UL,CE等

【製品名】 定 価
XDS5 ¥585,000
XDS10 ¥605,000
XDS35i ¥1,158,400

※ACケーブル含む(電圧100V,200Vをご指定ください)

用途

  • 一般的なクリーン排気
  • 質量分析計(GC-MS,LC-MS,ICP-MS)
  • 走査型電子顕微鏡(SEM,TEM)
  • スパッタリング
  • 高価なガス(He、キセノン等)の再循環

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