AFM

AFM

 

走査型プローブ顕微鏡とは、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。

1真空中AFM導電測定(Cu合金材料)

◆目的

AFMによる導電性測定において、真空中での効果を確認する。

◆手法

環境制御型プローブ顕微鏡による、C-AFM(電流同時測定)モード

◆測定データ

大気中による表面変化影響が見られる。

◆結果

大気中での測定では表面変化の影響が認められるが、真空中の測定では吸着水の影響等も低減され、より精度の高い導電性評価が可能となっている。

2AFM温度可変形態測定(レジスト温度影響)

◆目的

加熱によってレジストパターンにどのような変化が見られるか評価する。

◆手法

環境制御型プローブ顕微鏡による、温度可変モード

◆測定データ
◆結果

高温(175℃)を超えるとレジスト形状に変化が起こりはじめ、高温になるほどレジストの高さは低くなり、裾幅が広がっていく様子を捉えることができた。