断面解析

断面解析

 

試料表面からでは解明できない内部の構造、元素情報について、分析したい箇所で断面を作製し、その断面について形態観察及び元素分析を行います。

1断面加工・観察

◆特長

・機械研磨法に比べて、ダメージを低減させた加工面を得ることが可能である。
・熱に弱い材料でも、熱影響を低減させた加工が可能である。

2TEM観察

◆特長
  • 電子線の入射角度を変えることで、回折コントラストの変化を 見ることが可能である。
  • 観察対象が結晶質であるか判断できる。
  • 結晶内にある結晶欠陥(転位、双晶等)の情報を得ることができる。
◆結果
  • TEMの回折コントラストを用いて観察することで、アルミの結晶粒径を確認。
  • 判断の難しい箇所に対しては、試料を傾斜させると電子線の入射角が変わり、コントラストが変化することで正確な情報を得られる。