FBI微細加工

 

集束させたイオンビーム(FIB)を用いて、ナノメートルの精度を保持しながら、局所的に材料を削る(エッチング)と、薄膜材料を堆積させる(デポジション)技術で作製します。サービス開始から20年以上の実績を持ち、高品質な技術とサービスをご提供致します。

1ナノ構造物

FIB微細加工技術を用いて作製したナノ構造物により築き上げた仮想ナノパークです。

Nano Park
ブランコ すべり台 ジャングルジム

2微細な溝加工

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーに幅100nm以下の微細な溝加工を施した事例です。